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真空科学与技術学報 Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao

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Vol.30　No.4(2010)

プラズマCVDで堆積した水素化アモルファスシリコン薄膜の内部応力
Schottky接触の電流電圧特性に基づく有機半導体の新しい移動度評価
金属層成長による熱インジウムシーリングの改善
ポリエチレンイミン被覆の水晶微量天秤の湿度センサの開発
テクスチャNi(54)Mn(21)Ga(25)多結晶合金での相転移と磁場誘起歪
RFプラズマ化学蒸着で調製したWOx粉体のナノ粒子成長のシミュレーション
減圧下でのノントランスファ型DCプラズマのアーク電圧とジェットフローのゆらぎ
ヘリックス進行波管のタイムドメインでの粒子シミュレーション
酸化物陰極特性に及ぼす電気分解‐電気メッキNi粉体の影響
超音波スプレー熱分解で堆積した貴金属ドープTiO2膜での酸素検出特性
3ミリ波バンドでの周波数選択表面フィルタのシミュレーションと設計
Tiターゲットのマグネトロンスパタリングで堆積した(Ti,Al)N被覆の窒素流量と機械的性質
電子ビーム蒸着で堆積した酸化チタン膜の成長とキャラクタリゼーション
AgドープZnSナノ膜の構造と電気的特性のキャラクタリゼーション
ゲート下電界放出ディスプレイパネルの製作での厚膜技術
マグネトロンスパッタリング白金膜による直接メタノール燃料電池の陰極の製作
TiO2/ZrO2複合物膜の成長とその屈折率
水晶振動子のレーザ周波数トリミング
強磁場でのZn膜の成長配向制御
プラズマ酸化不動態化の316Lステンレス鋼の腐食抵抗
空中窒素絶縁体バリヤ放電プラズマによる不織布ポリプロピレン織物の表面改質
ガラス基板上の窒化ガリウム成長に及ぼすトリメチルガリウムの影響
低酸素濃度の酸化による超疎水性銅表面の開発
蒸気排出装置の混合器での境界層剥離の計算流体力学の研究
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Vol.30　No.3(2010)

不等ポテンシャル中空陰極放電で発生したアルゴンプラズマのその場診断
フッ化ケイ素表面のアルゴンイオンエッチング機構の研究: 分子動力学シミュレーション
CuInS2膜の特性に及ぼす硫化時間の影響
サブフィールドディザリングによるACプラズマディスプレイパネルの黒領域画像の改善
ジャイロクライストロンでの8mmバンド高パワーTE01‐HEn11モード変換のシミュレーション
二重ターゲット共スパッタリングで堆積したW(1−x)TixNの微細構造とトライボロジー性質
パイロットエチレン設備の分解チューブ内のコークス存在SiO_2/S膜の成長に及ぼす気体流量の影響
炭素熱還元反応‐塩素化によるアルミナからのアルミニウムの直接抽出とその機構
マグネトロンスパタリングでの不均衡磁場分布の二次元シミュレーション
HT‐7トカマクのリチウムの第一障壁の台上試験
多孔質性陽極酸化Alテンプレートでの電子ビーム蒸着によるTiO2のドットアレイの製造
減圧蒸留による天然ニッケルの精製
反応性マグネトロン共スパッタリングによるFeドープTiO2光触媒膜の成長
パルスECRプラズマ堆積によるAl203膜の成長
Cu‐H2Oナノ流体の対流熱伝達特性の増強
DCマグネトロンスパッタリングAlドープZnO薄膜の高速アニーリングと特性改善
Al‐Zr共ドープZnO膜の低温成長と特性
ポリエチレンテレフタレートチューブの内部壁上のダイヤモンド状炭素膜の成長と特性
水素吸蔵後のPdOゲッターの速度論と熱重量分析
酸化亜鉛鉱石の真空炭素熱還元の理論的および実験的研究
光散乱に基づくレーザ損傷閾値の評価基準
多重アークイオンプレーティングによるスーパー硬質傾斜(Ti,Al,Zr)N被覆の成長と機械的性質
スペースギア伝達要素のためのイオン注入30CrMnSi材料の摩擦学
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Vol.30　No.2(2010)

Sバンドピルボックス出力窓の降伏機構の電磁シミュレーション
マグネトロンスパッタTiO_2の光触媒活性に及ぼすO_2/Ar流量率の影響
SiCのフッ素エッチングでの表面温度の影響の分子力学シミュレーション
ゲート下電界放出ディスプレイパネルの性能に及ぼす許容範囲内の構造変動の影響
シャドウマスクプラズマディスプレイパネルでのアドレス放電遅延時間の研究
NiMnGaとNiMnFeGa結晶における双晶境界移動での磁場誘起歪やエネルギー損失の温度依存性
マグネトロンスパッタ純粋Cr被覆の微細構造に及ぼすデューティサイクルの影響
Al‐CN非晶質薄膜の微細構造と電気伝導率
パルスレーザ蒸着によりサファイヤ基板上にa軸配向イットリア安定化ジルコニア薄膜の成長
マグネトロンスパッタ薄膜の成長均一性の時間発展に及ぼす回転周期の影響
シャドウマスクプラズマディスプレイパネルでの放電縞変分の研究
誘電体障壁放電による高分子膜面の親水性の増強
Fe/Si多層膜の高速熱アニールによるβ‐FeSi_2薄膜の合成
MoドープZnO透明導電膜の光学特性
誘導性マグネトロンスパタリングによる酸化インジウムスズタンタル薄膜の成長
キャストストリップ構造に及ぼすNdFeB真空急速凝固炉(モデル:VIM‐I‐600)の冷却速度の効果
ヘリウムイオン注入アルミニウムの熱脱着スペクトロスコピー研究
DIABEAM法によるパワー密度の電子ビーム診断法
繊維強化プラスチック複合非磁性Dewar瓶での真空熱隔離の改善
ナノ結晶Ti基板上のマグネトロンスパッタCN_x/SiC二層膜の乾燥摩擦/摩耗挙動
UHVシステム内部でのNEA GaAs光電陰極面上の微粒子汚染物質源の解析と除去
その反射率と透過率に及ぼす銀の酸化膜の微細構造の影響
排出スラッジの高速真空強化流出法の研究室シミュレーション
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Vol.30　No.1(2010)

深紫外リソグラフィー法を用いた単一カーボンナノチューブの冷陰極アレイの開発
準中性プラズマシミュレーションでの二つの漸近保存Particle in Cell法の開発
プラズマディスプレイパネルでの自己適応低パワーアドレス技術の開発
シャドウマスクプラズマディスプレイパネルのダイヤモンド構造セルのシミュレーション
FeSi_3N_4多層薄膜の透磁率に及ぼすスパッタリング圧力の影響
国際熱核融合実験炉フィーダーで用いられるコイル端子箱の熱遮蔽
カーボンナノチューブ電界放出ディスプレイパネルの構造研究
多結晶シリコン膜のアルミニウム誘起結晶化に及ぼすアルミナ被覆の影響
酸化精製によりソーラグレードケイ素への冶金グレードケイ素の純化の最新進展
アルミニウム合金真空ろう付の品質改善
超高真空キャリブレーションチャンバで残留気体の組成分析
宇宙飛翔体で用いられるプランジャ封止構造の漏れ速度予測
電気泳働と逐次電気メッキにより調製したカーボンナノチューブの電界放出の増強
大気圧冷プラズマアークにより堆積されたSiO_xの超疎水性被覆
ZnO:Al膜の特性に及ぼす基板温度と水素アニーリングの影響
純粋チタンキャストのプラズマ窒化と機械的特性
磁気流体シール構造のシミュレーションと最適化
螺旋低速波構造の異なるバレル材料と特性
Beijing電子陽電子コライダーの真空測定でのビーム誘起誤差
真空吸引ディスクの応答時間
マグネトロンスパッタTiN/Cu‐Znナノ多層の腐食と抗菌性特性
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Vol.29　No.6(2009)

プラズマ窒化とTi/TiN被覆による純鉄の表面改質
マグネトロンスパタリングによる完全薄膜成長過程のシミュレーション
ノーマルオン及びノーマルオフモードの平面ゲート型カーボンナノチューブの電界放出電子源のシミュレーション
プラズマディスプレイパネル放電セルでの空格子点のあるMgO薄膜の二次電子放出に関する第一原理研究
Xバンド三ギャップ結合共振器出力回路のギャップインピーダンスのシミュレーション
動的速度テーパヘリックスを有する進行波管での三次元非線形ビーム波相互作用の計算
誘電体障壁放電の定常フィラメントのシミュレーション
液体の真空凍結の熱動的研究
結合共振器進行波管のための多段減速コレクタのデザインシミュレーション
炭化カルシウムによるMgO還元の実験熱力学研究
超高真空と極端高真空のキャリブレーションの最新の進展
空気技術での均質誘電体障壁放電の産業応用
イオンビームスパッタリングによるCuInSe_2薄膜の成長
プラズマ照射によるポリイミド表面改質の親水性
GaAs光電陰極の作製と自己活性化
電子ビーム蒸着のYドーピングZrO_2薄膜の光学的性質
真空系パイプ内壁上のTiZrV被覆のゲッタリング
異なるガス循環流速での真空Ruhrstahl‐Heraeus脱ガスのシミュレーション
ZrW_2O_8/ZrO_2薄膜成長とその複合ターゲット製造
プラズマ発光モニタリングと中間周波数二重マグネトロン反応性スパッタリングによるTiO_2薄膜成長
大気圧の誘電体障壁放電によるポリスチレンの表面改質
交流プラズマディスプレイパネルのために動的コントラスト比増強と逆ガンマ補正の結合
多重アークイオンプレーティングにより多成分(Ti,Al,Zr,Cr)N被覆の成長と機械的性質
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Vol.29　No.5(2009)

誘導性マグネトロンスパタリングで成長させたSiO_x薄膜にSiナノ粒子がどうして埋め込まれないのか
シャドウマスクプラズマディスプレイパネルの高いXe含有量と特性
真空蒸着により成長させたZn薄膜での粒径サイズ分布と強磁場
新開発のマグネトロンスパタリング陰極での磁場分布と電流電圧特性
誘電体障壁放電プラズマ増強気相成長法により成長させたCN薄膜の微細構造と特性
サファイア(0001)面上のAlN吸着のシミュレーション
(La_(2/3)Ba_(1/3))(Cu_(0.15)Mn_(0.85))O_3薄膜の微細構造と磁気的特性に及ぼすアニーリング温度の影響
μc‐Si:H薄膜の成長条件と高蒸着速度の最適化
100メガワットのクライストロンのための電子光学系のデザインシミュレーション
小型化誘導結合プラズマ源の駆動周波数と特性
Langmuir複針プローブによるアークイオンプレーティングプラズマの診断
進行波管での構造の異なる陰極ヒーターアセンブリの温度解析
遷移流領域で動作する螺旋ドラッグ分子ポンプのモンテカルロシミュレーション
超高及び極超高真空の測定技術の最新の進展
P型SnO_2透明導電性酸化膜の最新の進展
高温超伝導テープのための堆積温度とYBiO_3バッファ層成長
不均衡マグネトロンスパッタリングで成長させた窒化ケイ素膜の微細構造と特性
Shanghaiシンクロトロン放射施設のストーレジリングでの光子吸収体の開発
噴霧乾燥により調製したガラス密封粉体のキャラクタリゼーション
リモートアルゴンプラズマにより誘起されたポリプロピレン微小孔構造膜でのグラフト重合
閉場不均衡マグネトロンスパッタリングで堆積したCrN被覆のバイアス電圧と機械的性質
液体基板上で堆積される銀膜の表面形態と応力緩和機構
TiO_2/ITO複合材料ナノ膜の光誘起親水性
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Vol.29　No.4(2009)

PbTiO_3のパルスレーザ蒸着薄膜の反射高速電子回折の研究
SiO_2/S反コーキング被覆の堆積と微細構造
交流プラズマディスプレイパネルでの高インピーダンス持続駆動技術
固溶体半導体Zn_(1−x)Mg_xS薄膜の特性キャラクタリゼーション
巨大磁気抵抗センサによる市販磁気マイクロビーズの検出
反応性スパッタリングの比例積分微分神経回路網制御のシミュレーション
プラズマディスプレイパネルの電磁干渉遮蔽フィルムの性能評価
Xバンドシートビームクライストロンの3Dセルイン粒子シミュレーション
永久周期磁気集束下でのヘリックス進行波管の後進波発振のシミュレーション
長方形ヘリカル遅波回路の高周波特性の数値解析
ポリエチレンテレフタレートボトルの内部被覆での流れ場の格子Boltzmannシミュレーション
マグネトロンスパタリングによるMoS_2/WS_2複合膜の成長と機械的性質
微小電子機械システムデバイスの可変放射率熱的制御での最新の進展
色素増感太陽電池のナノ構造化TiO_2の応用
ポリエチレンテレフタレート不織布基板上のAl酸化物ドープZnO薄膜の堆積
異なる基板温度でのGe堆積とSiC薄膜成長への影響
電子ビーム蒸着によるCdS多結晶薄膜の成長とキャラクタリゼーション
フレキシブル基板上の酸化インジウムスズ薄膜の紫外線援助成長
複合吸着体のH_2吸着等温線の測定と解析
エッチングSiC面の浅いエッチング速度と粗さ
Shanghaiシンクロトロン放射施設のストーレジリングのための真空系
空洞リングダウン分光法でのマイクロ波プラズマ中のOHラジカルのキャラクタリゼーション
Shanghaiシンクロトロン放射施設のストーレジリングのためのステンレス鋼真空チャンバ
広帯域モニタと制御下の高精度反射防止多層膜の成長
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Vol.29　No.3(2009)

ゲート制御ナノワイヤの場放射特性のシミュレーション
マグネトロンスパタリングで成長させたNi‐Mn‐Ga薄膜の微細構造と機械的性質
生物分解可能Fe‐O薄膜の堆積とキャラクタリゼーション
真空アニーリングによるTbDyFe薄膜の微細構造と磁気的特性の改善
Moイオン堆積による空間進行波管での多段電位低下コレクタの二次電子放出の抑制
表面波励起のプラズマアンテナの電力減衰度
プラズマ浸漬イオン注入堆積とその応用の最新の進展
表面波持続プラズマ特性に及ぼすPenning効果
大気圧噴流で発生するメタンプラズマの分光診断
TiO_2薄膜の堆積条件と屈折率
ステンレス鋼基板上にRFマグネトロンスパタリングで成長させたタングステンジスルフィド薄膜の堆積
マグネトロンスパタリング成長のTiC/a−C薄膜の微細構造と摩擦性質
低温でのRFマグネトロンスパタリングによる透明伝導ZnO:Zr薄膜の成長と特性
プラズマ強化化学気相成長法で成長させたダイヤモンド様炭素膜の微細構造と摩擦学的性質
トリガー真空スイッチのアーク起動安定度
低ロック蒸気噴射真空ポンプの構造修正
静的膨張真空標準の下限拡大
フィルタリング陰極真空アーク堆積による超極薄ダイヤモンド様炭素膜の構造と熱安定性
マグネトロンスパタリングによる酸化インジウムスズ薄膜の成長
太陽熱集熱管で用いられるマグネトロンスパッタAlN/Al膜の堆積速度の増強
プラズマ強化化学気相成長法でのLangmuirプローブによるプラズマ診断
無水塩化アルミニウムの真空昇華
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Vol.29　No.2(2009)

負電子親和力GaNとGaAs光電陰極の活性化機構の類似点と相違点
太陽電池の窓層材料として用いられるほう素ドープna‐Si:H薄膜の成長とキャラクタリゼーション
H‐Si(100)面でのAl_2O_3の原子層堆積のシミュレーション
Sn_2S_3薄膜の微細構造と光学的性質
銅基板のウラン薄膜のAuger電子分光研究
金属フォトニックバンドギャップによるKaバンド低速波構造の特性
p型透明伝導CuAlO_2薄膜の熱電気的性質
真空鑞付け温度のモデリングと減結合制御
電子サイクロトロン共鳴プラズマ支援パルスレーザ蒸着による希土類元素ドープGaN薄膜の成長とキャラクタリゼーション
TiZrV非蒸発ゲッターの活性化のX線光電子分光法研究
TiO_2薄膜でのイオンビーム衝撃と応力変化
誘導性マグネトロンスパタリングで成長させたバナジウムカーバイド薄膜の微細構造と機械的性質
原子層堆積と光学薄膜への応用
酸化インジウムスズ薄膜の透過スペクトルのモデリングとパラメタリゼーション
スクラッチによるTiN薄膜基板の接触面間の付着力の測定
Bドープnc‐Si:H薄膜の微細構造と機械的性質に及ぼす堆積パラメータの影響
Ti‐SiN被覆による刃物の表面改質
実験最新超伝導トカマクで用いられる黒鉛のガス放出特性
ヘリックス進行波管における非直線歪の解析
マグネトロンスパタリングで成長させたTiO_2‐V非晶質薄膜の光触媒劣化
ポリイミド基板上の低赤外線放射のTiO_2/TiNカモフラージュ薄膜の成長とキャラクタリゼーション
サーモパイル構造のミクロ熱伝導率真空センサ
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Vol.29　No.1(2009)

マルチビーム結合共振器低速波構造の冷却試験特性のシミュレーション
単一カーボンナノチューブエミッタの半球頂点上の場分布の計算
レーザプラズマチャネルアンテナの分散特性の理論的検討
静電容量ダイヤフラムゲージでの熱発散の補正
アークイオンプレーティングにより堆積したNiCoCrAlY被覆の微細構造の透過電子顕微鏡研究
SiCN薄膜での酸素不純物のキャラクタリゼーション
反応性マグネトロンスパタリングにより成長させたAlN薄膜の動的挙動
フッ化非晶質炭素薄膜の成長と特性
室温でのCu/3C‐SiC(111)界面形成の初期段階
平面DCマグネトロンスパッタの堆積速度に及ぼす動作条件の影響
GaNナノロッドの成長機構
イットリウムのドーピングによるCrAlTiN薄膜と基板界面の付着力増強
誘導結合プラズマ化学物質気相堆積による非晶質炭素フッ化物薄膜の成長とキャラクタリゼーション
ステンレス鋼上での硫化による二硫化タングステンの薄膜成長
二硫化タングステン薄膜の成長技術と機械的性質
超塩基性フェノラートの摩擦膜のX線近吸収端構造分光法
ポリエチレンオキシド様薄膜での血小板強化血漿の表面吸着
多孔性陽極アルミナの微細構造及び酸素放出速度
アークイオンプレーティングにより成長させた(Ti,Cr)N複合材料被覆の微細構造と機械的性質
非導電性材料のX線元素分析の補償と補正
光学被覆で作製されるイオンビーム源の最近の開発状況
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Vol.28　No.6(2008)

イオンビームエッチングと組合わせたレーザホログラフィックリソグラフィーにより作製した磁性材料のサブミクロン構造
異なるセラミック複合材ターゲットのRFマグネトロンスパッタリングによるZrW2O8膜の成長と特性
非格子ギャップ二重くぼみ形同軸空洞の同調誘導におけるTM310モードの研究
同軸共振器マイクロ波増幅等化器の新しい設計
高電流パルス電子ビーム照射により修正した金型鋼SKD11表面の形態
CVDダイヤモンド薄膜成長のための円筒マイクロ波プラズマ反応器のシミュレーションと最適化
高電流パルス電子ビームにより蒸着させた熱障壁被覆の表面改質における温度場のシミュレーション
修正等価回路による結合空洞低速波構造のシミュレーション
真空スイッチングア−クの金属蒸気プラズマの電子温度診断
真空チューブ輸送における高速列車の妨害物率と空力抵抗の数値シミュレーション
MnSi1.7半導体薄膜の最新開発
高反射層作製技術のレビュー
フルブリッジ零電流スイッチブーストコンバータのソフトスイッチング条件と利得特性
C/C多層膜の熱安定性
Si基板上にエピタキシャル成長させたEr2O3膜の表面と界面: X線光電子分光法研究
中間周波数DCマグネトロンスパッタリングによるAlドープZnO膜の成長
ダイヤモンド状炭素膜の反応性イオンエッチング
AlドープZnO膜の表面構造と光学的性質
K417母超合金インゴットの直線的電磁攪拌と微細構造
C2H2プラズマにより改質したポリエチレンテレフタラートチューブ内壁に対する磁場の影響
カプトンとカプトン/Al裏面鏡に対するレーザ誘起原子酸素衝撃
シャドウマスクプラズマディスプレイパネルの蛍光体スクリーン印刷
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Vol.28　No.5(2008)

浮遊ガラス基質上の光トラッピングアルミニウム誘導テクスチャーの作製
銅フタロシアニン活性層のある薄膜素子の作製とその電気的双安定性
シャドウマスクプラズマディスプレイパネルにおけるアノード放電縞
空気中の誘電体バリア放電により蒸着させたポリプロピレン膜の表面改質
イオン注入ダイヤモンド様炭素多層膜の蒸着
同心補助極のある半球状ボウル形道管物のプラズマ源イオン注入のパルスプラズマさやにおけるイオン動力学
酸化クロム被覆の界面の微細構造
MFマグネトロンスパッタリングによるダイヤモンド様炭素/TiAlN複合膜の微細構造と性質
ケイ素ナノワイヤの成長と機構に関する最近の進展
石英ウエハ上の膜厚の監視
非晶質SiC膜基板上の多結晶HgI2膜の成長とキャラクタリゼーション
2024Al合金基板上のマルチアークイオンめっきによるCrN_xの被覆
DC反応性マグネトロンスパッタリングにより成長させたTiO_xN_yBi層の選択吸収
DC炭素アークプラズマによる炭素カプセル化Feナノ粒子の合成とキャラクタリゼーション
金属フタロシアニン/ZnO複合膜の光電性質
RFプラズマ重合によるアミン含有機能性皮膜の蒸着とそのバイオ性質
極制御電子銃の設計と作製
進行波管増幅器の非線形性を補償する前置補償器の開発
プラズマ強化液体源のある有機金属化学蒸着システムの設計と構成
ストリングアルゴリズムによる誘導結合プラズマによる深反応性イオンエッチングのモデリング
磁気フィルタArcによるTiNコーティングの硬化機構
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Vol.28　No.4(2008)

大面積VHFプラズマ増強化学蒸着に対して使用した平行板カソードでのフィーディング点に関する数値最適化
二温度Keidar‐Boydモデルに基づいた平行板パルスプラズマスラスタのシミュレーション
薄膜トランジスタ液晶ディスプレイの四マスク製造におけるフォトレジスト灰化
M型カソードに関するCeO_2不純物の添加および放出特性
SSMBEによるSi上でのSiCの成長に及ぼす異なる蒸着速度の効果
ZnOナノワイヤのI‐V特性に及ぼす電子照射の影響
ヘリコン波励起水素プラズマに関する電子温度と密度
媒質チューブ内のプラズマ柱に関する表面波の軸方向伝搬
誘電体障壁放電化学蒸着で成長させたNドープTiO_2薄膜に関する微細構造と特性
アモルファスシリコンに関する電場支援金属誘起横方向結晶化
集束イオンビーム発生に対して新たに開発した液体金属イオン源
不均衡マグネトロンスパッタリングで成長させたダイヤモンド状炭素薄膜に関するレーザ誘起損傷
フェライト基板上でのマグネトロンスパッタリングによる無鉛溶接薄膜の成長
遷移層で被覆した異なる基板上のダイヤモンド状炭素薄膜に関する界面接着
Al合金上にDCマグネトロンスパッタリングで蒸着した(Ti_xAl_y)N被覆の成長と機械特性
二段階酸化で成長させたZnO薄膜に関する光触媒特性
真空同時蒸着Cu_xTe薄膜に関するアニーリング温度および微細構造
Pドープ水素化シリコン微結晶薄膜に関する微細構造と光学特性
低エネルギーイオンビーム照射で改質したポリカーボネート表面の濡れ特性
ポリメタクリル酸メチル基板上のSiOx被覆に関する摩擦および耐摩耗性
Al被覆とプラズマ改質したポリメタクリル酸メチル基板との界面接着
大規模真空凍結乾燥装置に対する制御装置設計
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Vol.28　No.3(2008)

低基板温度とスパッタNiO_x薄膜のエレクトロクロミック特性
CrAlTi(Y)N薄膜のイットリウム不純物と硬度
P型Zn−ドープCuAlS2薄膜の成長と特性
地上でシミュレートされたスペースプラズマ環境の実験技術
PbTe薄膜の表面酸化の研究
8mm同軸拡張干渉発振器の設計とシミュレーション
長方形平面ターゲットのマグネトロンスパッタリングによる被覆のシミュレーション
窒素ドープダイヤモンドライクC:N薄膜のミクロ構造と電気特性
異なった基板に堆積したシリコン薄膜の固相結晶化
Cu(In1−xGax)Se2薄膜のミクロ構造と形態に対するキャリヤガスの影響
SiC薄膜のミクロ構造と光学的特性に対する塩化マンガンドーピングの影響
ポリエチレンテレフタレート繊維基板上のZnO/Ag/ZnO多層の堆積と特性
窒素イオン・インプランテーションによって改質されたポリ(2−メトキシ基−5−オクチルオキシ)−1,4フェニレンビニレン薄膜のミクロ構造
マグネトロンスパッタAl_2(WO_4)_3 薄膜の成長と負の熱膨張
フレキシブル基板上のインジウム酸化錫薄膜の成長と光電子特性
チタン生物材料上のダイヤモンドライク炭素被覆の耐摩耗性と生体適合性
新たに改善された広いビームイオン源の動作特性
プレーナマグネトロンターゲットの2−D磁場分布の計算
減圧溶接によるマイクロエレクトロメカニカルシステムのパッケージング技術
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Vol.28　No.2(2008)

高移動度の透明導電性タングステンドープ酸化インジウム膜の成長とアニーリング
Si(111)7×7上のケイ化マンガン形成:走査型トンネル顕微鏡研究
挿入電極を有する真空遮断器におけるアークモードの実験的研究
GaAs(331)表面上の自己組織化InAsの相転移
Ag/ポリエチレンオキシド様バイオマテリアルのマグネトロンスパッタリングによる成長と特性
液体表面上の鉄薄膜の保磁力の温度依存性
チタン酸バリウムセラミックのCurie点シフトの最新進展とその機構
ZnO基板上に作製したSchottky接合の最新進展
CdTe太陽電池の性能に及ぼす複合背面層と背面金属電極の影響
基板のRF酸素プラズマ表面改質と酸化インジウムスズ薄膜の品質
電子ビーム蒸着により成膜した中間ガラス膜のアノードボンディング
大電力電子ビーム衝撃炉の改良
二酸化バナジウムのDC反応性マグネトロンスパッタリングによる成長
HfO_2薄膜の成長と特性評価
酸化インジウムスズ膜と酸化インジウムスズ:Zr膜の特性に及ぼす基板温度の影響
進行波管のグリッド制御電子銃のシミュレーション
直交アンテナを装備した誘導結合プラズマ源の放電特性と一様性
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Vol.28　No.1(2008)

新しい透明導電性ZnO:Mo薄膜
螺旋進行波管の遅波構造の熱散逸
高電流Ihfiq‾i電子ビームによる高純度マグネシウム表面の改質及び合金化
大気圧における化学蒸着によるガラス上でのTiO_2高速コーティング
大気圧に対して働く高真空ドライポンプの最近の発展
カラープラズマディスプレイにおけるアドレス電力の等価回路モデル
誘電障壁放電における放電特性のシミュレーション及び実験研究
ポリエチレンテレフタレート基板上でのAg膜の成長及び遮蔽特性
セレン化CuInGa吸収体の組成及び微細構造に及ぼすCuInGa前駆体膜の積層モードの影響
CrCO‐Ti保護膜の成長及び機械的特性
金被覆シリコンミラーの真空紫外反射
DCマグネトロンスパッタTiO_2膜の成長条件及び反射率
酸化亜鉛アルミニウム膜の特性及びそのセラミックターゲット作製
a‐C:H膜の成長条件及び機械的特性
マグネトロンスパッタニオブ膜のバイアス電圧及び特性
ナノTiO_2膜の成長及び表面形態
CIGS膜の構造及び形態に及ぼす二層前駆体膜の影響
単一ZnOナノワイヤ電界効果トランジスタの光電気特性
中空結晶粒のZn3N2粉末の合成及びキャラクタリゼーション
静的膨張真空システムの開発
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Vol.27　No.6(2007)

ダイアモンド様の炭素薄膜成長の分子力学シミュレーション
DC反応性マグネトロンスパッタリングによってつくった Cdln_2O_4薄膜の光学および電気特性
RF−プラズマ化学蒸気蒸着による Al_2O_3ナノ粒子成長の動態模型
Al−Nを共ドーピングした Zn_(1−x)Mg_xOの合成と特性評価
熱線化学蒸気蒸着によるフレキ基板上への多結晶 Si薄膜の成長
マグネトロンスパッタリングによる TiO_2薄膜の成長条件および特性
遷移金属の薄膜における水素誘導の光学的および電気的変化
平板 DCマグネット論スパッタの放電プラズマシミュレーションにおける進歩
イオンビーム補助蒸着による LiNbO3上への高度に配向した Al薄膜の成長
マグネトロンスパッタした Co薄膜のマイクロ構造および化学量論
低温におけるマグネトロンスパッタによる透明導電 ZnO:Al薄膜の成長と特性
アークイオンメッキによる深さのある管内壁の TiN被膜蒸着に対するパルスバイアスの影響
陰極−フィラメントモジュールに対する輻射熱損失減少
誘導結合プラズマの補助による ZrN薄膜の合成
加熱状態にある Al_2O_3上における充電補償についての研究
誘電障壁放電プラズマ中での HO_2ラジカルの現場における定量測定を行うための cw−空洞リングダウン分光法
a−C/Ta−Cおよび AI/AINの電子エネルギー損失分光研究
金属基板上に成長した硬い薄膜中の内部応力の測定
液体の真空冷却についての理論的および実験的研究
上海シンクロトロン放射施設における輸送ラインの真空システム設計
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Vol.27　No.5(2007)

微細パターン形成した十分に整列したカーボンナノチューブ電界放出アレイの開発
変調周期とナノTaN/VN多層膜
液体金属イオン源のシミュレーション
AlNの反応性スパッタリングのモデリング
Pierce電子銃の設計における人工神経回路網の応用
BaTiO3/CoFe2O4/BaTiO3磁気電気多層膜の成長と界面歪
群遅延時間法によるクライストロンの出力空洞の外部Q値の計算
第一原理計算と紫外光電子放出分光法による5,10,15,20‐メソ‐テトラフェニルポルフィリンの電子状態と分子構造の決定
表面活性化によるZr‐Cゲッタの改善
静電気微小リレーの最近の発展
光誘導親水性TiO_2膜のプラズマ放出モニタで制御した成長
Tiドープしたダイヤモンド状炭素膜の微細構造
中周波数交流マグネトロンスパッタリングによるYドープ酸化亜鉛の成長と性質
ZnO:Al膜の成長条件調節による標的体積の低減
新しい非対称シャドウマスクプラズマディスプレイパネルの研究
直流駆動真空蛍光表示管の陰極設計
熱陰極蒸発の飛行時間質量分析研究
定圧モードにおける圧力漏れ較正装置の設計
大気中に直接排気できる乾式ルーツ真空ポンプのプロファイルと構造の改善
真空排気による自己凍結物質の実験研究
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Vol.27　No.4(2007)

高周波スパッタしたFeZrBCu膜の透磁率と巨大磁気インピーダンス
TiO_2−WO_3複合膜を用い作製したガスセンサのキャラクタリゼーション
遅波構造を持ったらせん進行波管の開発
銅被覆カーボンナノチューブ膜の抗菌特性
ACプラズマディスプレイパネルの気体放電における過渡的発光特性
非対称シャドウマスクプラズマディスプレイパネルの放電特性と動作パラメータのシミュレーション
Pt/(Pt/Co)_n/FeMn/Pt多層の交換バイアスに与えるPtスペーサの効果
高圧力誘電体バリア放電プラズマ蒸着により重合されたアクリル酸の被覆
Agドープしたゾル‐ゲルZnO膜の光触媒特性
パルス線形マイクロ波水素プラズマの時間分解Langmuirプローブ診断
実験的改良された超伝導トカマクの非標準的真空槽中の構成材を設置するためのD型をベースとしたリングの設計
シリコンウエハ表面の化学洗浄
ナノスケールTa−Al−N拡散障壁の成長
AIN膜のスパッタリング条件と光学特性
MgO保護層に与えるSc_2O_3ドーピングと膜成長条件の影響
a−Si薄膜トランジスタ中の界面構造と特性
高周波無電極フィールド放電により励起された窒素プラズマランプ
水素化非晶質炭素膜の自己バイアス電圧と光学特性
走査電子顕微鏡における電子ミラー現象とその応用
凍結真空乾燥における二次水蒸気加熱
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Vol.27　No.3(2007)

Ti‐Al障壁をもつSi上のNbドーピングPb(Zr,Ti)O_3強誘電体コンデンサーの製作
レーザ損傷と二つのダイヤモンド状炭素成長技術
超合金真空電磁鋳造の供給能力モデリングとその応用
二重遮断真空遮断器の動的絶縁回復特性
酸化インジウムスズ膜の微細構造と化学量論
固有nc‐Si:H膜の微細構造
発光分光法による低圧メタンプラズマ診断
不完全境界 ヒーター‐陰極組立品の熱シミュレーション
パターン化カーボンナノチューブ陰極の電気泳動堆積と電界放出特性
ドライエッチングによる電界エミッタアレイの製作
GaAs光電陰極の低温脱着と活性化
シートビームクライストロン電子光学システムの研究
二重光ビーム膜厚監視システムにおける信号処理の最適化
フッ化ダイヤモンド状炭素膜の成長と光学特性
動的イオンビーム混合によって成長した酸化チタン膜の電子構造
パルス誘電障壁放電によるプラズマ重合無水マレイン酸膜の成長
RFプラズマ増強化学蒸着による微結晶シリコン膜の成長
TiO2膜の微細構造へのスパッタリングパワーの影響
直流マグネトロンスパッタリングによって成長したタンタル膜の微細構造と特性
マグネトロンスパッタ銅被覆による電磁遮蔽織物
磁性流体密封装置のシミュレーションと設計
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Vol.27　No.2(2007)

不揮発性メモリ応用のための可逆有機電気双安定素子
超高真空及び特別の高真空の較正
Ag−TCNQのフラクタル成長
ZrN/W2Nナノ多層の変調比と特性
フラットパネルディスプレイにおけるぼけている動きの画像評価
二陽極プラズマトーチのU−I特性と効率
ナノ多孔質陽極アルミナ膜の形成機構
レオタキシャル成長と熱酸化によるナノ粒子SnO2膜の成長とそのガスセンシング特性
CoFe/Cu多層での巨大磁気抵抗の研究
RFマグネトロンスパッタリングによって堆積したSiC膜の電子特性
CdS/CdTeの界面特性への多結晶CdTe膜の成長と焼きなましの影響
映像陰極線管のためのガラスへのスピネルの密封
低光レベルイメージ増倍管での大面積GaAs光電陰極のスペクトル特性と負の電子親和力
種々の低圧力におけるキャベツの真空冷却
誘導結合したフルオロカーボンプラズマによるSiO2材料のエッチング
マグネトロンスパッタリングによって成長したSiベースの(Pb1−xSrx)TiO3膜の誘電特性に影響する要素の分析
反応性マグネトロンスパッタリングによって成長したTiO2膜の酸素圧力と親水性
Alコーティング反射鏡の宇宙環境耐久性
非平衡マグネトロンスパッタリングによって成長した窒化チタン膜のミクロ構造と特性
電子ビーム蒸着によって成長した酸化チタン膜の応力分布
陽極のアークプラズマによって作製されたニッケルナノ粉末のミクロ構造
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Vol.27　No.1(2007)

上海EBIT施設のガス注入システム
固体線源分子ビームエピタクシによるSi(111)上の3C−SiCのヘテロエピタキシー成長
螺旋状進行波管の粒子シミュレーション
Xバンド40W高効率進行波管に対する螺旋遅速波のシミュレーションおよび最適化
新たに開発された小型化化合物スパッタリングイオンポンプ
高アスペクト比結晶構造のプラズマクライオエッチング
窒素プラズマ漬浸イオン注入によるベアリング鋼の回転接触疲れ寿命および機械的挙動の改良
真空凍結乾燥による銀のナノ粉末の調製
ランタンドープチタン酸鉛強誘電体薄膜のミクロ構造への異なる基板の影響
乾燥ツインスクリュー真空ポンプにおけるシングルスレッド台形ロータプロフィールおよび固定ピッチスクリューの間の歯形の干渉
異なる真空シーリングとマイクロ波輸送
薄膜トランジスタ液晶ディスプレイの製造におけるモリブデンフィルムのドライエッチング
反転マグネトロン冷陰極ゲージのパルス化モード
固体硫化よるCuInS_2の成長と特性
ロータリーピストン真空ポンプの動的振動シミュレーション
環境走査型電子顕微鏡での荷電環境の評価
熱ワイヤ化学蒸着によるポリSiフィルムの成長配向
真空電子装置における残留ガスの質量分析研究
真空凍結乾燥装置の可変周波数電源
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Vol.26　No.6(2006)

種々のプラズマディスプレイパネル構造の放電過程の研究
微小スポットサイズの大強度電子ビームの発生と計算
パルスバイアスアークイオンめっきで堆積させたCrAlNの研究
パルスレーザ蒸着で作製したZnO薄膜の微細構造と光ルミネセンス
Cu低屈折面上のGd吸着原子拡散の分子動力学シミュレーション
真空グレーシングのブレース応力の実験研究
真空紫外線とX線用の高反射率鏡の解説
先端材料開発における凍結乾燥技術の応用
化学蒸着で成長させたダイヤモンド膜を持つ紫外検出器の製作の最新の進展
RFプラズマCVDで成長させたSiO_x膜の湿潤遮断
環境走査電子顕微鏡によるZnOナノ細線のその場成長
水素化した非晶質炭素膜とステンレス鋼基板の界面における接着に及ぼす転移層の影響
イオンビームスパッタリングで成長させたLa_(0.5)Sr_(0.5)CoO_(3‐δ)膜のX線回折とX線光電子分光法による研究
Cl_2+Ar混合気体中の4H‐SiCの誘導結合プラズマ(ICP)エッチング
ZBOターゲットの焼結機構の研究と特性化
レーザ分子ビームエピタクシーによるエピタキシャルLaAlO_3/BaTiO_3/SrTiO_3三色超格子のその場RHEED監視成長
SnO_2系ガスセンサの気体感度に及ぼすニッケル修飾層の影響
直流マグネトロンスパッタリングで堆積させたCr/Cr_2O_3サーメットの選択吸収体被覆の研究
マグネトロンスパッタリングで作製した(Pb_(1‐x)Sr_x)TiO_3薄膜の誘電特性と強誘電特性
炭化珪素膜の化学構造と性質に及ぼすC濃度の影響
真空冷却における水蒸気温度の時間発展
ダイヤモンド様炭素膜のレーザ損傷特性
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Vol.26　No.5(2006)

表面伝導電子エミッタ表示カソードの開発
閉じた巨視的ディスチャージセル中の新しく開発したシャドウマスクプラズマディスプレイの放電特性
飛行時間二次イオン質量分析による宇宙機汚染キャラクタリゼーション
カーボンナノチューブダブルゲート二重壁電界効果トランジスタの作製と性質
定コンダクタンス法による超低漏れ速度のキャリブレーション
中間周波数反応性マグネトロンスパッタによるTiO2膜成長におけるTiターゲット特性のシミュレーション
Ti合金上に成長したTiN膜による機械的心臓弁の改善
低温で堆積したITO膜の透過度と電磁遮蔽
カーボサーマル還元塩素処理によるボーキサイトからのAlの真空冶金
埋め込まれたナノシリコン結晶粒を持つSiO2膜の光学特性
ZnO膜の欠陥研究のレビュー
パワーバッテリー生産における真空技術と装置
Ti/TiC及びSi/ SixNy中間層を持った銅基板上に堆積したダイアモンド状炭素膜の研究
中間周波数代替マグネトロンスパッタリングにより作製されたZGO薄膜の性質に与える基板温度の影響
銀イオン注入により表面改質されたポリエチレンテレフタレートの抗菌特性
高周波プラズマCVDによるポリエチレンオキシド様膜の成長
(Pb(1‐x)Srx)Ti3膜の成長と特性に与えるスパッタリング雰囲気の影響
中間周波数反応マグネトロンスパッタリングによるAl2O3:Ce︳(3+)膜の青色光ルミネセンス
パルスレーザ蒸着により堆積したIrO2膜の微細構造
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